Matlab  |  Mathematica  |  Mathcad  |  Maple  |  Statistica  |  Tabula  |  Другие пакеты Поиск по сайту
Internet-класс  |  Примеры  |  Методики  |  Банк задач  |  Форум  |  Download  |  Ссылки  |  Конкурсы


 
Математическое моделирование технологических процессов (моделирование в среде Mathcad, практикум)
В.А. Никоненко

Вернуться на страницу <Методические разработки>

Архив разработки ZIP-архив лабораторной работы (231 Кб, MS Word, Mathcad 7.0 Pro)

 

  В практических работах рассматриваются процессы формирования функциональных слоев полупроводниковых приборов. Приводятся необходимые сведения по физическим основам процессов и методам математического моделирования этих процессов. Целью практикума является освоение студентами методов математического моделирования технологических процессов с использованием современных персональных компьютеров и математической системы MathCAD.

Содержание 

 

 

Введение

  Практикум содержит пять работ по математическому моделированию некоторых технологических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных схем. 10-15 лет назад в США стоимость экземпляра программного комплекса для моделирования технологических процессов изготовления и характеристик приборов достигала сотен тысяч долларов [1]. В настоящее время техника и программное обеспечение персональных компьютеров достигла такого уровня, когда каждый грамотный специалист может самостоятельно строить модели различные процессов и явлений. Математические расчеты с применением систем высокого уровня (MathCAD, MatLAB, Mathematica и др.) не требуют знаний системного программирования [2]. Эти системы позволяют в формализованном виде строить математические модели физических процессов и явлений. Подготовленные студенты легко осваивают MathCAD и в состоянии самостоятельно моделировать физические явления и процессы, применяемые в производстве полупроводниковых приборов.

  В настоящем практикуме все работы выполнены в математической системе MathCAD 7,0 Pro. Для их выполнения достаточно владеть общими навыками работы на персональном компьютере. Процесс вычисления в работах автоматизирован не полностью, поэтому при выполнении работ приходится неоднократно проводить некоторые вычисления для достижения оптимума. Работа считается выполненной, если полученный оптимальный результат удовлетворяет требованиям задания.

  Работы выполняются студентами индивидуально и рассчитаны на два часа. При защите работы от студента требуются знания в объеме теоретической части описания работы и наличие отчета с результатом, удовлетворяющим требованиям поставленной задачи.

 

Литература 

  1. МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов/ Под ред. П. Антонетти, Д. Антониадиса, Р. Даттона, У. Оулдхема: Пер. с англ. - М.: Радио и связь, 1988.
  2. Дьяконов В.П. Справочник по MathCAD PLUS 7.0 PRO. -М.: СК Пресс, 1998.
  3. Броудай И., Меррей Дж. Физические основы микротехнологии: Пер. с англ. - М.: Мир, 1985.
  4. Технология тонких пленок. Справочник: Пер. с англ. /Под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко. -М., Сов. Радио, 1977. Т. 1.
  5. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учеб. пособие. -2-е изд., перераб. и доп. -М.: Высш. шк., 1979.
  6. Бубенников А.Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. пособие. -М.: Высш. шк., 1989.

Карта сайта | На первую страницу | Поиск | О проекте | Сотрудничество | e-mail
Корпоративная почта | ActiveCloud | Антивирус Касперского | Matlab | Подписка на MSDN для вузов | ИТ-ПРОРЫВ

Исправляем ошибки: Нашли опечатку? Выделите ее мышкой и нажмите Ctrl+Enter

Наши баннеры


Copyright © 1993-2014. Компания Softline. Все права защищены.

Дата последнего обновления информации на сайте: 18.09.14
Сайт начал работу 01.09.00

Softline – программное обеспечение, IT-консалтинг, лицензирование, обучение

подарки – подарочные сертификаты

 

            Rambler's Top100